V proizvodnih procesih polprevodnikov predelava rezin zahteva skoraj popolno čistočo in stabilnost. Tradicionalni kovinski ali polimerni nosilni diski so nagnjeni k kontaminaciji delcev, elektrostatični adsorpciji in toplotni deformaciji, ki neposredno vplivajo na donos čipa. Keramični diski z visoko čistočo aluminijevega oksida (al₂o₃, večji ali enaki 99,6%) ponujajo izjemno čistočo, stabilnost in korozijsko odpornost, zaradi česar so nepogrešljivi ključni potrošni v naprednih proizvodnih procesih.
Telefonska številka
13918810800
E-pošta
lh@ceramicstimes.com
Zakaj so alumina keramični diski idealna izbira za proizvodnjo rezin?
1. Končno zagotavljanje čistoče
Čistost več kot 99,6%, izpiranje kovinskih ionov<0.1 ppb, preventing wafer contamination
Površinska hrapavost RA <0,1 μm, ki doseže RA 0,02 μm po poliranju zrcala (izpolnjevanje zahtev EUV)
2. Toplotna mehanska stabilnost nano na nano
Koeficient toplotne ekspanzije 7,2 × 10⁻⁶/ stopinje (podobno kot silicijeve rezine), deformacija pri visokih temperaturah<0.5 μm
Odlična odpornost na toplotni udar; lahko prenese hitre temperaturne cikle od sobne temperature do 500 stopinj
3. Protistatična in kemična korozijska odpornost
Volume upornosti> 10¹⁴ ω · cm, kar učinkovito preprečuje elektrostatične poškodbe (ESD)
Odporen na kislinsko in alkalno korozijo, s življenjsko dobo več kot 1000 ciklov v procesih jedkanja in čiščenja
Validacija industrije: standard za napredne procese
1. TSMC preskusni podatki kažejo, da v primerjavi s kovinskimi pladnji aluminijev oksid keramični pladnji zmanjšujejo kontaminacijo delcev na površini 12-palčnih rezin za 83%.
2. Applied Materials (AMAT) so v svoji najnovejši opremi CMP v celoti sprejeli aluminijevo oksid, kar je izboljšalo enotnost poliranja za 15%.
Samsung Electronics 3NM Preverjanje procesa: Keramični pladnji iz aluminijevega oksida lahko zmanjšajo hitrost napake na robu rezine na manj kot 0,01%.
Tehnični trendi: Ko se procesi proizvodnje čipov premikajo proti 2 nm in manj<10nm). Through precision laser trimming technology, aluminum oxide ceramic discs are breaking through the limits and continuing to safeguard semiconductor manufacturing.