Keramični chucks aluminijevega nitrida (ALN) v visokotemperaturnih procesih
ALN Keramični Chucks Excel v visokotemperaturnih polprevodniških in industrijskih aplikacijah zaradi izjemnih toplotnih in mehanskih lastnosti:
Ekstremna temperaturna odpornost - stabilno deluje od kriogene do 1000 stopinj (v inertni atmosferi), ki presega glinico (omejeno na 800 stopinj) in polimerov.
Thermal Shock Resilience–Withstands rapid thermal cycling (ΔT >500 stopinj \/sec) brez razpok, kritičnega za hitro toplotno obdelavo (RTP) pri proizvodnji čipov.
Nizka toplotna ekspanzija - CTE 4,5 ppm\/K tesno ustreza silicijevim rezinam (2,6 ppm\/k), kar zmanjšuje trakovo rezin med ogrevanjem.
Visoka toplotna prevodnost - 170-200 w\/mk toplotna disipacija vzdržuje enakomerno temperaturo rezin (± 1 stopinja v 450 mm rezine pri 600 stopinjah).
Oxidation Resistance–Forms a protective Al₂O₃ surface layer at >800 stopinj zraka, ohranjanje strukturne celovitosti.
PLAZMA IN KEMIJSKA stabilnost - Rezisti Halogena (CL₂\/F₂) in kovinski organski prekurzorji v komorah MOCVD pri 900 stopinjah.
Ključne aplikacije:
Faze litografije EUV (manj kot ali enake 5NM vozlišča)
Gan epitaxy reaktorji (800-1100 stopinja)
Žarjenje napajalnih naprav (700 stopinj, 5min cikli)
Z ničelnim izkazovanjem in<0.1μm thermal deformation, AlN chucks enable high-precision processing in advanced semiconductor fabs and LED production. Their 10x longer lifespan than traditional materials reduces downtime in 24/7 wafer fabs.
Za večKeramični chuck aluminijevega nitridaInformacije, obiščite naslednje www.ceramicstimes.com
