ALN keramični chucks se odlično odreže v visokozmogljivih okoljih, ki zahtevajo toplotno stabilnost, natančnost in kemično odpornost.
Ključne aplikacije vključujejo:
Proizvodnja polprevodnikov
EUV litografija: Zagotavlja natančnost prekrivanja sub-Nanometra z minimalnim toplotnim premikom.
Orodja za jest\/odlaganje: upira se eroziji plazme pri reaktivnih ionskih jedkalcih (RIE) in CVD komorah.
Žare za rezine: vzdržuje enakomerno ogrevanje (± 0. 5 stopinj) pri 800–1000 stopinjah za napredno izdelavo vozlišč.
Power Electronics
SIC\/GAN epitaksija: zdrži 1100 stopinj v reaktorjih MOCVD za proizvodnjo naprav z visoko učinkovitostjo.
Lasersko kockanje: zagotavlja stabilno vpenjanje za ultra tanke rezine (<50μm) without cracking.
Napredna embalaža
3d IC vezava: preprečuje, da bi se med termokompresijsko vezavo vezave hipletov.
Embalaža na ravni rezin na ventilatorju (FOWLP): omogoča natančno poravnavo heterogene integracije.
Raziskave in industrijske
Kvantno računalništvo: ponuja kriogeno-visokotemperaturno stabilnost za testiranje s kbitom.
Proizvodnja LED: podpira enotno toplotno upravljanje pri mini\/mikrolesni prenos.
ALN Chucks so nepogrešljivi za zahtevne procese<0.1μm flatness, zero contamination, and long-term reliability, directly boosting yield in cutting-edge tech.
Če potrebujete visokokakovosten aluminijski nitridni keramični chuck, se za dodatna vprašanja obrnite na Superior Ceramics Times.
